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非接触高精度电容式位移传感器 MicroSense 5 美国位移传感器
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- 非接触高精度电容式位移传感器MicroSense5美国位移传感器 基于电容式感技术*,MicroSense Probe 电容式位移传感器提供高准确度,高带宽测量精度电容式位移传感器设备,为满足客户高准确度的应用要求,MicroSense 优化传感器的操作性能以达到高稳定性和线性方案、高分辨率、高带宽测量方案,用于测量硬盘驱动马达,气动轴承转子,X-Y样品台*度,光盘,汽车零部件和机床等测量。
产品详细信息 精密电容式位移传感器 非接触式高分辨率近距离位移测量 MicroSense 公司(前身是ADE Technologies, KLA_TENCOR的子公司)开创了高辨率电容式位移传感器的先河,致力于为客户提供以艺术级别性能的高精度非接触式微位移传感器。
MicroSense Probe 电容式位移传感器特性 1.完全非接触式电容式微位移测量—**准确的电子感应技术, 无损样品测量 2.*化的近距离测量—测量距离在10微米到5毫米 3.高准确性,高灵敏性测量,*精度可达0.5nm。
4.可探测任何可传导性、接地的测量目标—表面是否抛光以及材质对测量准确度无任何影响 5.用途广泛: 金属薄片厚度测量,振动测量,工作台垂直度(Straighness)和平坦度(flatness)测量,精密马达转轴偏振测量(Axial, Radial, Spindle runout),精密仪器工作平台定 位,设备自动聚焦测量(微影设备,原子力显微镜,光罩探测,图像确认,LCD生产设备…) 测量表(Gauge)型号 5800系列 以高动态测量著称--高分辨率测量,可达100Khz 带宽测量,可靠性测量甚至达触 地物例如气动转子和马达 测量探头(Probe)形状 。
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